因此从花样质量可直观地定性评估晶格内存在的塑性应变。用EBSD进行应变测量的一些例子如下:1)在部分再结晶的显微组织中辨别有无应变晶粒; 2)陨石中的固溶诱导应变;3)测定锗离子束注入硅中产生的损伤。4....
EBSD技术的应用领域集中于多种多晶体材料——工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石——以研究各种现象,如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能(成型性、磁性等)、界面性能(腐蚀、裂纹、热裂等)、相鉴定等。电子背散射衍射(EBSD)测试在EBSD设备中,一束电子束入射倾斜晶体样品,产生的散射电子在荧光屏上形成衍射花样。...
EBSD即电子背散射衍射技术,是材料进行基本的取向测定和相结构鉴定的有效方法。其样品制备的基本要求是:测试面要保持“新鲜”、平整,无任何应力(如弹、塑性应力),无任何污染,具有良好的导电性。本文中的样品是厚度约为块状紫铜材料,需要对其进行EBSD分析前的制备。在能满足样品制备的基本要求的基础上,采用了较清洁、高效的方法:机械抛光+离子束抛光。...
由此可形成电子通道衬度成像 (ECCI),原理如图 1 所示。图1 电子通道衬度成像原理粒子模型示意图入电子束与晶面的夹角对背散射电子强度的影响:(a) 夹角越大背散射电子数目越多;(b) 夹角变小时背散射电子减少。对于成分均匀、且抛光成平面的多晶材料,背散射电子的强度取决于入射电子束与晶面的相对取向。相对取向差越大的晶粒,成像越亮,因此可以定性地知道晶粒的取向分布情况。...
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