EN 62047-21:2014

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

EN 62047-21:2014 发布历史

IEC 62047-21:2014 specifies the determination of Poisson's ratio from the test results obtained by the application of uniaxial and biaxial loads to thin-film micro-electromechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm.

EN 62047-21:2014由欧洲电工标准化委员会 IX-CENELEC 发布于 2014-09-26，并于 2014-10-24 (7) 实施，于 2017-07-24 (7) 废止。

EN 62047-21:2014在国际标准分类中归属于: 31.080.99 其他半导体分立器件。

EN 62047-21:2014的历代版本如下：

• 2014年 EN 62047-21:2014

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标准号

EN 62047-21:2014

发布

2014年

发布单位

欧洲电工标准化委员会

当前最新

EN 62047-21:2014

 

 

适用范围

IEC 62047-21:2014 specifies the determination of Poisson's ratio from the test results obtained by the application of uniaxial and biaxial loads to thin-film micro-electromechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm.

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