本文件规定了电感耦合等离子体原子发射光谱法测定多晶硅生产尾气净化用活性炭中硼、磷、铝、铬、铁、镍、铜、锌含量的方法。 本文件适用于多晶硅生产尾气净化用活性炭中硼、磷、铝、铬、铁、镍、铜、锌含量的测定。
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