T/CCGA 30003-2019
超纯三氟化氮

Ultra pure nitrogen trifluoride


T/CCGA 30003-2019 中，可能用到以下仪器设备

 

490及490-PRO Micro GC系列便携式气相色谱仪

490及490-PRO Micro GC系列便携式气相色谱仪

安捷伦科技公司

 

GC1100系列气相色谱仪

GC1100系列气相色谱仪

北京普析通用仪器有限责任公司

 

岛津新气相色谱仪系统 GC-2014

岛津新气相色谱仪系统 GC-2014

岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

GC-8A气相色谱仪

GC-8A气相色谱仪

岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

G5系列气相色谱仪

G5系列气相色谱仪

北京普析通用仪器有限责任公司

 

全二维GCxGC系统

全二维GCxGC系统

岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

NGA天然气分析系统

NGA天然气分析系统

岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

TA SERIES痕量气体分析仪

TA SERIES痕量气体分析仪

美国阿美特克中国

 

天瑞GC5400气相色谱仪

天瑞GC5400气相色谱仪

江苏天瑞仪器股份有限公司

 

GC522气相色谱仪

GC522气相色谱仪

上海伍丰科学仪器有限公司

 

GC2800气相色谱仪

GC2800气相色谱仪

上海伍丰科学仪器有限公司

 

STA 6000同步热分析仪

STA 6000同步热分析仪

珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司PerkinElmer

 

快速气相色谱仪MASTER GC

快速气相色谱仪MASTER GC

博赛德科技有限公司BCT

 

Micro GC 3000微型气相色谱仪

Micro GC 3000微型气相色谱仪

博赛德科技有限公司BCT

 

GC128 气相色谱仪自动进样器农残检测

GC128 气相色谱仪自动进样器农残检测

上海仪电科学仪器股份有限公司（雷磁）

 

天美气相色谱仪GC7900II

天美气相色谱仪GC7900II

天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

GC 9790 Plus气相色谱仪

GC 9790 Plus气相色谱仪

浙江福立分析仪器股份有限公司

 

GC9750系列气相色谱仪

GC9750系列气相色谱仪

浙江福立分析仪器股份有限公司

 

Superlab GC 气相色谱仪

Superlab GC 气相色谱仪

上海磐合科学仪器股份有限公司

 

GC挥发性物质检测系统

GC挥发性物质检测系统

北京普立泰科仪器有限公司

 

ZX-2全二维气相色谱仪

ZX-2全二维气相色谱仪

北京普立泰科仪器有限公司

 

天美气相色谱仪GC7980

天美气相色谱仪GC7980

天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

GC1120气相色谱仪

GC1120气相色谱仪

上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

GC1290 气相色谱仪

GC1290 气相色谱仪

上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

GC126气相色谱仪

GC126气相色谱仪

上海仪电分析仪器有限公司

 

GC128气相色谱仪

GC128气相色谱仪

上海仪电分析仪器有限公司

 

GC122气相色谱仪

GC122气相色谱仪

上海仪电分析仪器有限公司

 

食用油脂肪酸测定专用色谱仪

食用油脂肪酸测定专用色谱仪

山东盛泰仪器有限公司

 

带FID和TCD串联检测器的气相色谱

带FID和TCD串联检测器的气相色谱

北京中科科尔仪器有限公司

 

带热导检测器(TCD)的气相色谱

带热导检测器(TCD)的气相色谱

北京中科科尔仪器有限公司

 

精密液体气相发生器

精密液体气相发生器

沈阳科晶/KJ GROUP

 

LC-MS专用氮气发生器

LC-MS专用氮气发生器

上海磐合科学仪器股份有限公司

 

ELGA EDI可再生纯水机

ELGA EDI可再生纯水机

英国 ELGA LabWater威立雅水处理技术（上海）有限公司/威立雅/ELGA

 

PEAK PRECISION NITROGEN 250氮气发生器

PEAK PRECISION NITROGEN 250氮气发生器

毕克气体仪器贸易（上海）有限公司PEAK

 

液氮发生器LNP60

液氮发生器LNP60

毕克气体仪器贸易（上海）有限公司PEAK

 

液氮发生器LNP40

液氮发生器LNP40

毕克气体仪器贸易（上海）有限公司PEAK

 

液氮发生器LNP20

液氮发生器LNP20

毕克气体仪器贸易（上海）有限公司PEAK

 

液氮发生器LNP10

液氮发生器LNP10

毕克气体仪器贸易（上海）有限公司PEAK

 

Cascada III.I全新智能纯水一体化

Cascada III.I全新智能纯水一体化

颇尔（中国）有限公司 pall ForteBio

 

默克密理博RiOs 50 纯水系统，ZR0S50050

默克密理博RiOs 50 纯水系统，ZR0S50050

默克生命科学

 

ELGA 中国和产品

ELGA 中国和产品

英国 ELGA LabWater威立雅水处理技术（上海）有限公司/威立雅/ELGA

 

SF160实验室纯水超纯水一体机

SF160实验室纯水超纯水一体机

北京绿绵科技有限公司

 

Peak Genius XE 氮气发生器

Peak Genius XE 氮气发生器

毕克气体仪器贸易（上海）有限公司PEAK

 

实验室级超纯水器

实验室级超纯水器

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

实验室超纯水器

实验室超纯水器

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

一体机系列氮气发生器

一体机系列氮气发生器

上海析维医疗科技有限公司

 

超纯水机

超纯水机

保定兰格恒流泵有限公司

 

实验室超纯水机

实验室超纯水机

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

实验室超纯水机

实验室超纯水机

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

工业级超纯水

工业级超纯水

北京安合美诚科学仪器有限公司

 

T/CCGA 30003-2019
标准号
T/CCGA 30003-2019
发布
2019年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CCGA 30003-2019
 
 
本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。

T/CCGA 30003-2019相似标准

T/CATSI 05002-2020 高压液化气体管束式集装箱专项技术要求 GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮 GB/T 8979-2008 纯氮、高纯氮和超纯氮 T/CCGA 30002-2019 超纯氧化亚氮 CGA G-14-2010 三氟化氮

推荐

赋能创“芯” | 电子气体中离子态杂质检测的先进技术探讨

该方案同样适用于非反应型惰性气体，也可以应用于高纯气体净化材料和设备的性能考察。三氟化氮中可水解氟化物的检测方案高纯三氟化氮（NF3）具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时是非常良好的清洗剂，主要用于等离子体刻蚀和化学气相沉积（CVD）的清洗。随着集成电路制程技术节点的不断减小，高纯三氟化氮的需求快速增长，气体中杂质的检测也备受关注。...

T/CCGA 30003-2019 中可能用到的仪器设备

气相色谱仪GC 便携式气相 纯水器/超纯水器/纯水机/超纯水机 氮气发生器 多组分气体分析仪 高纯气/特气分析系统 其它水质分析仪 危险气体检测 其它行业专用 其它煤炭行业专用仪器


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号