DIN ISO 3567:2015-05
真空计 通过与参考真空计直接比较进行校准
Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge (ISO 3567:2011)
DIN ISO 3567:2015-05 中，可能用到以下仪器
DIN ISO 3567:2015-05相似标准
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直线路径上的电子
为了简化校准过程，欧盟面向研究与创新（EMPIR）的 “离子真空计”项目开发了一种新型电离真空计。与没有定义电子轨迹的传统真空计相比，在这种情况下，电子从阴极直接通过电离空间进入法拉第检测器。此外，离子收集器被用作静电透镜将电子聚焦在阳极的出口孔上。电子通过偏转器被引导到法拉第检测器上，这样当电子击中检测器时射出的X射线就不能到达离子收集器，从而也就不会扭曲测量结果。...
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在冷冻干燥中，使用以下气体类型相关性：例如，针对氮气或空气进行校准的皮拉尼真空计显示出明显更高的水蒸气压力。如果同时测量与气体类型无关的真空计的压力信号（通常为电容性信号），则可以通过比较测量值来推断出干燥室内的水蒸气含量。调节皮拉尼和电容式真空计的压力信号，是确定初步干燥结束的有用指标。此方法也称为比较压力测量法。...
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