电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。 选择真空计原则 1、在要求的压力区域内有要求的精度。 ...
相对真空计一般由作为传感器的真空计规管(或规头)和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。 3、根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。...
PBS-510xx-C1型薄膜真空计属于高精度计量器具，应定期计量检定。用于检定的标准器其精度应高于被检定仪器的一个精度等级以上。使用中若需调校零点，必须要有较高真空度的真空源。建议平时尽量不要随便自行调校，可送（具有该项目CNAS检定资质的）当地行政计量技术机构检定调校和校准。建议的计量检定周期为一年。 一般根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。...
真空计按测量性质可分为绝对真空计和相对真空计。所谓绝对真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如u型压力计、压缩式真空计就是绝对真空计。通过测量与压力有关的物理量并与绝对真空计比较来确定压力的真空计称为相对真空计。我们校准的电离真空计、电容薄膜真空计、热传导真空计,都是相对真空计。 电离规管的结构为一个圆筒型三极管,它有三个电极:阴极f发射电子；栅极a加速电子,收集极c收集离子。...
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