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干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。...
2.玻璃表面台阶检测 在透明玻璃表面所镀的一层金属膜,需要测膜层的厚度,由于其非透明的特性,薄膜测厚仪无法进行测量,而由于其膜层厚度精度在纳米级别,接触式的台阶仪和其它的非接触式光学仪器也存在测量误差较大的风险,而以光学干涉原理为基础研制成的中图仪器光学三维表面检测仪,以其亚纳米级别的测量精度,则可对该膜层厚度进行准确测量。 ...
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