DIN EN 62047-1 E:2014-05
半导体装置 微型机电装置 第1部分：术语和定义（草案）
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
- 标准号
- DIN EN 62047-1 E:2014-05
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- DIN EN 62047-1:2016
- 当前最新
- DIN EN 62047-1:2016-12
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