T/CEMIA 024-2021
半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

T/CEMIA 024-2021 发布历史

T/CEMIA 024-2021由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2021-06-08，并于 2021-12-25 实施。

T/CEMIA 024-2021 在中国标准分类中归属于: L90 电子技术专用材料，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。

T/CEMIA 024-2021的历代版本如下：

• 2021年06月08日 T/CEMIA 024-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

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标准号

T/CEMIA 024-2021

发布日期

2021年06月08日

实施日期

2021年12月25日

废止日期

无

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.200

发布单位

CN-TUANTI