ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
洁净室和相关受控环境 第3部分：测试方法

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods

标准号

ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020

发布

2020年

发布单位

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当前最新

ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020

 

 

适用范围

本文件提供了支持洁净室和洁净区运行的测试方法，以满足空气洁净度分类、其他洁净度属性和相关受控条件的要求。 性能测试针对两种类型的洁净室和洁净区：具有单向气流的洁净室和洁净区和具有非单向气流的洁净室和洁净区，并在三种可能的占用状态下进行：竣工状态、静止状态和运行状态。 提供了用于确定性能参数的测试方法、推荐的测试设备和测试程序。 如果测试方法受到洁净室或洁净区类型的影响，建议采用替代程序。 对于某些测试，建议使用几种不同的方法和设备来适应不同的最终用途考虑因素。 经客户和供应商同意，可以使用本文件中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的测量结果。 本文件不适用于洁净室、洁净区或独立设备中的产品或过程的测量。 注：本文件无意解决与其使用相关的安全注意事项（例如，使用危险材料、操作和设备时）。 本文件的用户有责任建立适当的安全和健康实践，并在使用前确定监管限制的适用性。

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