2018-05-01GB/T 34893-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法2018-05-01GB/T 34894-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法2018-05-01GB/T 34898-2017微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法2018-05-01GB...
光纤产品优势光纤传感测量仪器综合采用了最新发展的基于波长可调谐扫描激光器的高精度并行光谱探测技术、光纤光栅(FBG)传感测量技术、法布里-珀罗干涉测量技术(F-P)和MEMS光纤传感技术,可用于构建光学波长测量、微弱光强信号检测、快速脉冲光信号探测以及高精度并行光谱探测等光学特性实验测量设备,也可实现温度、应变、压力、加速度等物理量的高精度光纤传感测量,满足科研、教学等学科建设与跨越式发展,同时可为相关科研单位开展光纤传感领域的前沿探索与工程应用建立设备条件...
光纤端面力学探针艺术效果图 在过去的几十年中,基于微机电系统(MEMS)的各种电容式力传感器、压电式力传感器等都得到了飞速发展。MEMS微力传感器可以提供高测量分辨率和大测量范围,但受限于封装方式其结构尺寸较大,并且易受环境电磁场干扰,在许多应用中受到限制。 与MEMS微力传感器相比,光纤微力传感器具有灵敏度高、柔韧性好、重量轻、体积小、生物相容性好、抗电磁干扰等众多优点。 ...
我国在MEMS的设计和制造领域也取得了长足的发展。北京大学、清华大学、上海微系统所、中电13所、中电49所、中电55所、东南大学和上海交通大学等单位的研究在国内乃至国际均处于领先水平。本文所介绍的《硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法》正是基于北京大学的科研成果而提出的一项国际标准提案。2....
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