KS C IEC 60204-33-2020
半导体制造设备安全指南

Safety guideline for semiconductor fabrication equipment

KS C IEC 60204-33-2020 发布历史

KS C IEC 60204-33-2020由韩国科技标准局 KR-KATS 发布于 20201013，并于 20201013 实施。

KS C IEC 60204-33-2020在国际标准分类中归属于: 31.080 半导体分立器件。

KS C IEC 60204-33-2020 半导体制造设备安全指南的最新版本是哪一版？

最新版本是 KS C IEC 60204-33-2020 。

KS C IEC 60204-33-2020的历代版本如下：

• 2020年 KS C IEC 60204-33-2020 半导体制造设备安全指南
• 2010年 KS C IEC 60204-33:2010 机械安全性.机器电动设备.第33部分:半导体制造设备要求

标准号

KS C IEC 60204-33-2020

发布

2020年

发布单位

韩国科技标准局

当前最新

KS C IEC 60204-33-2020

 

 

引用标准

KS B ISO 12100-2,KS B ISO 13849-1,KS B ISO 13851,KS C 6702,KS C IEC 60034-11,KS C IEC 60073,KS C IEC 60364-4-41,KS C IEC 60364-4-43,KS C IEC 60446,KS C IEC 60529,KS C IEC 60950-1,KS C IEC 61000-6-2,KS C IEC 61000-6-4,KS C IEC 61010-1,KS C IEC 61032,KS C IEC 61310-1,KS C IEC 61310-2,KS C IEC 61310-3,KS C IEC 61558-1,KS C IEC 61558-2-6,KS C IEC 61800-5-1

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