测量范围:高真空(10-1~10-5帕) 3.冷阴极电离真空计 原理:与热阴极电离真空计一样,是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性,用放电电流做为真空度的测量。不同的是冷阴极电离真空计利用的是真空中的高电压放电现象,也被称为冷规。 ...
2、大部分真空计是间接测量,只有压力为105~lOPa时,可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小,不能直接测量,应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。 3、多采用非电量电测技术。 4、大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会造成很大误差。 5、测量精度不高。 ...
Penning真空计测量性能稳定,可测量高真空领域的电流。因为是冷阴极方式,不必担心电极的烧损问题。缺点是放电稳定性有一定不足。另外从阴极放出的电子量受表面污染影响严重。 根据以上特点,此真空计适合不想频繁更换真空计的高真空领域设备上,同时因为此真空计本身有较强的磁场,要考虑其安装在设备上的位置。 ...
(2)大部分高精度薄膜真空计是间接测量,只有压力为105~lOPa时,可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小,不能直接测量,应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。 (3)多采用非电量电测技术。 (4)大部分高精度薄膜真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会造成很大误差。 (5)测量精度不高。 ...
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