T/CHBAS 48-2023
电子工业用气体 五氟乙烷

Gas pentafluoroethane for electronic industry

T/CHBAS 48-2023 发布历史

T/CHBAS 48-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-12-22，并于 2023-12-30 实施。

T/CHBAS 48-2023在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。

T/CHBAS 48-2023 电子工业用气体 五氟乙烷的最新版本是哪一版？

最新版本是 T/CHBAS 48-2023 。

T/CHBAS 48-2023的历代版本如下：

• 2023年 T/CHBAS 48-2023 电子工业用气体 五氟乙烷

本文件规定了电子工业用气体五氟乙烷（以下简称五氟乙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业五氟乙烷为原料经纯化制备的电子工业用五氟乙烷，它在电子工业等离子蚀 刻工艺中作为蚀刻气体。

标准号

T/CHBAS 48-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CHBAS 48-2023

 

 

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