VDI/VDE 2655 BLATT 1.2-2010由SCC 发布于 2010-10-01。
VDI/VDE 2655 BLATT 1.2-2010 微形貌光学测量技术 共焦显微镜的校准和粗糙度测量的深度调整标准的最新版本是哪一版?
最新版本是 VDI/VDE 2655 BLATT 1.2-2010 。
Full Description BILINGUAL
激光共聚焦显微镜可用来观察样品表面亚微米级别的三维轮廓形貌, 也可以测量多种微几何尺寸, 像晶粒度、体积、膜深、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等。激光共聚焦相比于其他测量手段有其独特的优势, 它提高了图片的清晰度, 有很好的景深, 提高了分辨率, 可以进行无接触的三维轮廓测试。在金属材料研发方面还经常用到光学显微镜和扫描电子显微镜。...
奥林巴斯提供非接触式表面粗糙度测量的解决方案: Olympus LEXT 3D激光扫描显微镜 奥林巴斯 OLS5000 激光共焦显微镜 使用奥林巴斯 OLS5000 激光共焦显微镜,能够通过非接触、非破坏的观察方式轻松实现3D 观察和测量。仅需按下“Start(开始)”按钮,用户就能在亚微米级进行精细的形貌测量。 ...
除了最终光学元件的加工精度以外,各种光学元件加工工艺也需要检测中间过程的三维形貌以保证最终产品的精度,包括注塑、模压的模具,光学图案转印时的掩膜版,刻蚀过程的图案深度、宽度等。 布鲁克的三维光学显微镜配备的双光源技术,同时实现白光干涉和相移干涉成像,适用于各种不同光学样品、模具的三维形貌测量。在光学加工领域得到广泛应用。 ...
是从80年代末期开始的,目前在日本,共聚焦激光扫描显微镜已经是一种被广泛采用的技术,既用来观察样品表面亚微米程度(0.12微米)的三维形态和形貌,又可以测量多种微小的尺寸,诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。另外,它还有以下特点:使用方便,与一般光学相似,且全部采用计算机直观控制。基本无须制样,不损伤样品。不需要做导电处理,也容许大尺寸样品直接观察,完全不破坏样品。...
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