JB/T 13359-2018
硅谐振式压力传感器
Silicon resonant pressure sensor
JBT13359-2018, JB13359-2018
JB/T 13359-2018 中，可能用到以下仪器设备
JB/T 13359-2018相似标准
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十余项仪器仪表行业标准将制修订
其中仪器仪表相关制修订行业标准有：序号计划号项目名称性质制修订代替标准完成年限主要起草单位12014-0607T-JB170nm～3000nm紫外-可见-近红外滤光片推荐制定2016沈阳仪表科学研究院有限公司等22014-0608T-JB光学薄膜带通干涉滤光片推荐制定2016沈阳仪表科学研究院有限公司等32014-0609T-JB硅谐振式压力传感器推荐制定2016沈阳仪表科学研究院有限公司等42014...
与先进仪器仪表技术面对面，这有一批军转民项目等你来合作！
其中，涉及仪器仪表技术的有高精度硅谐振压力传感器、电场探测先进传感器技术、高灵敏度手持式拉曼光谱探测仪等。高精度硅谐振压力传感器【技术领域】新一代信息技术 【技术开发单位】中国科学院电子学研究所【技术概述】高精度压力传感器采用先进的换能机制，利用单晶硅的良好机械特性，将压力的作用应力转化机械部件的固有频率，并输出。传感器具有低迟滞误差、重复性好，长期稳定性好等优点。 ...
压力检测可采用哪几种传感器
压力传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器等。目前应用较为广泛的压力传感器有：扩散硅压阻式压力传感器、陶瓷压阻压力传感器、溅射薄膜压力传感器、电容压力传感器、耐高温特性的蓝宝石压力传感器。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。...
电容式压力传感器的特点
硅电容传感器综合性能指标如非线性、过载、静压、可靠性等性能优于硅压阻传感器、陶瓷电容传感器、金属膜片电容传感器。它与硅谐振传感器相当，特别是用户追求的非线性指标，通常硅电容传感器的非线性优于0.05％FS的成品率大于60％。 主要问题 因其检测原理是采用电容极间距变化，而这种极间距变化本身是非线性的，为了改善非线性，开发出较为复杂的芯体结构，如接触式、变面积与变极距相串联等结构。...