T/GVS 005-2022
半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment
T/GVS 005-2022 发布历史
T/GVS 005-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-03-28，并于 2022-03-28 实施。
T/GVS 005-2022在国际标准分类中归属于: 23.160 真空技术。
T/GVS 005-2022的历代版本如下：
- 2022年 T/GVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。适用于测量范围在0.01 Pa～100 kPa的半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试。
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