KS L ISO 21859-2023
精细陶瓷(高级陶瓷、高级工艺陶瓷)半导体制造设备中陶瓷元件耐等离子体性试验方法

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment


 

 

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标准号
KS L ISO 21859-2023
发布
2023年
发布单位
KR-KS
当前最新
KS L ISO 21859-2023
 
 

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