T/QDAS 094-2022
二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方

T/QDAS 094-2022 发布历史

T/QDAS 094-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-07-22，并于 2022-07-23 实施。

T/QDAS 094-2022在国际标准分类中归属于: 31.080.01 半导体器分立件综合。

T/QDAS 094-2022的历代版本如下：

• 2022年 T/QDAS 094-2022 二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方

本文件规定了二极管GPP沟槽清洗用混合酸的成分、纯度要求、浓度要求、配制比例、混合酸配制和使用要求等。 本文件适用于采用二极管（包括整流二极管、快恢复功率二极管、可控硅、瞬态二极管、半导体放电管等）湿法腐蚀工艺清洗GPP沟槽的混合酸的配制。

标准号

T/QDAS 094-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

当前最新

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