YS/T 1164-2016
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

Determination of impurity content in high-purity quartz products for silicon materials by inductively coupled plasma optical emission spectrometry

YST1164-2016, YS1164-2016


标准号
YS/T 1164-2016
别名
YST1164-2016, YS1164-2016
发布
2016年
发布单位
工业和信息化部
当前最新
YS/T 1164-2016
 
 

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