ASTM F134-85(1990)
ASTM F134-85(1990)
- 标准号
- ASTM F134-85(1990)
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F134-85(1990)
- 引用标准
- ASTM F78 ASTM F97 ASTM F98
- 适用范围
- 1.1 这些测试方法涵盖使用氦质谱检漏仪检测电子设备和相关部件中的泄漏和测量泄漏尺寸的程序。
1.2 方法 A，氦气泄漏测试，可在具有内腔的部件上进行，该内腔包含除氦气以外的气体（例如空气或氮气）或被抽空。
1.2.1 测得的泄漏率是内部自由体积、调节压力和时间以及加压和测试之间的延迟时间（与泄漏情况相同）的函数。一般来说，如果假设分子流，则可以根据测量的泄漏率计算泄漏尺寸。可检测性的上限和下限都取决于测量条件，因此不能为该方法指定单一的适用范围。
1.2.1.1 最小可检测泄漏尺寸（见 5.7）主要取决于内部自由体积、调节压力和时间的乘积以及检漏仪的灵敏度。
1.2.1.2 最大可检测泄漏尺寸（见 5.2）主要取决于内部自由体积以及调节和测试之间的延迟时间，并且在较小程度上取决于调节压力和检漏仪的灵敏度。
1.2.1.3 该方法可用于检测泄漏尺寸在最小和最大可检测泄漏尺寸之间的泄漏。在实践中，最大可接受泄漏尺寸（见 5.5）的值由测试双方商定，并且通过调整调节压力和时间的乘积来建立测试条件，使得该泄漏尺寸大于最小泄漏尺寸。可检测泄漏尺寸。然后，可以检测到大于此值的泄漏，除非它们超过了最大可检测泄漏尺寸。要检测大于最大可检测泄漏尺寸的泄漏，必须采用其他程序（注 1）。
1.2.2 如果需要定量测量泄漏率，则必须对部件进行单独测试。允许批量测试泄漏（参见 1 I,1.6）。
1.2.3 对于固定条件下固定体积的装置的重复或常规测试，可根据测得的泄漏率建立通过、不通过测试，1.3 方法B，氦示踪探针测试，用于定位-。 。这些测试方法由电子学委员会 F1 管辖，并由混合微电子学小组委员会 F01.09 直接负责。当前版本于 1985 年 8 月 30 日批准。1985 年 10 月出版。最初出版为 F 134-70 T。上一版 F 134-78。实际泄漏点。范围内的泄漏抢劫自动取款机。 cm3/s可检测。
1.3.1 该方法既可以应用于电子器件，也可以应用于其他部件，例如可以连接到真空室的端子。
1.3.2 在泄漏周围的氦气层压力接近 1 atm 的情况下，用此方法测得的泄漏率接近泄漏尺寸。注：用于确定电子器件气密性的替代方法可以在实践 F 97 和实践 F98 中找到（参见 2.i）。
1.4 这些测试方法不适用于润滑脂设备。
1.5 方法 A 不能用于指定调节压力超过元件额定值的设备。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。使用本标准的任何人都有责任在使用前咨询并建立适当的安全和健康实践，并确定监管限制的适用性。