指定分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求 ISO14644-8 按化学物浓度（ACC）分类的空气洁净度 2013 涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物（AMC）的分类 ISO14644-9 通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类 2012 通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类 ISO14644-10...
生产环境控制就是对与产品生产过程相关的各类污染物的控制，生产环境中微粒的控制是十分重要的内容，洁净室等级就是以受控粒子的尺寸各浓度来划分，半导体集成电路生产用洁净室空气中受控粒子以往通常视为可按集成电路特征尺寸的1/10~1/5考虑，但随着集成度的提高，特征尺寸的不断缩小以及洁净生产环境控制技术的提高等因素，近年来倾向于受控粒子尺寸可按特征尺寸的1/2~1/3考虑，并已逐步得到各国同行的认同。...
因此，集成电路的高速发展，不仅对空气中控制粒子的尺寸有很高的要求，而且也需进一步控制粒子束；同时，对于超大规模集成电路生产环境中无尘车间的化学污染控制也有相关的要求。5、化妆品、食品生产的洁净室要求现代化妆品中大多含有蛋白质、维生素、氨基酸、植物萃取液等，这些组分为细jun、霉jun等微生物的滋生、繁殖提供了有利条件。因此，微生物的污染是影响化妆品质量的重要因素。...
因此，集成电路的高速发展，不仅对空气中控制粒子的尺寸有很高的要求，而且也需进一步控制粒子束；同时，对于超大规模集成电路生产环境中无尘车间的化学污染控制也有相关的要求。5、化妆品、食品生产的洁净室要求现代化妆品中大多含有蛋白质、维生素、氨基酸、植物萃取液等，这些组分为细jun、霉jun等微生物的滋生、繁殖提供了有利条件。因此，微生物的污染是影响化妆品质量的重要因素。...
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