洁净室和相关的受控环境 - 第7部分:分离设备(清洁空气罩 手套箱 隔离器和迷你环境) 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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测试方法 2005 指定用于表征洁净室和洁净区性能的空气颗粒洁净度指定分类的测试方法 ISO14644-4 设计、建造和启动 2001 指定洁净室安装的设计和构造要求 ISO14644-5 运营 2004 指定洁净室运行的基本要求 ISO14644-7 分离装置(清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境) 2004 ...
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