可制成各种力矩计,半导体话筒,压力传感器等.气敏电阻:利用某些半导体吸收某种气体后发生氧化还原反应制成,主要成分是金属氧化物,主要品种有:金属氧化物气敏电阻,复合氧化物气敏电阻,陶瓷气敏电阻等.磁敏电阻:他是利用半导体材料的磁电阻效应制成的,主要品种有,锑化铟单晶磁敏电阻,锑化铟-锑化镍磁敏电阻等....
电阻式半导体气体传感器是通过检测气敏元件随气体含量的变化情况而工作的。主要使用金属氧化物陶瓷气敏材料。随着近年来复合金属氧化物、混合金属氧化物等新型材料的研究和开发,大大提高了这种气体传感器的特性和应用范围。例如:WO3气体传感器可检测NH3的浓度范围为5 ppm~50 ppm,ZnO-CuO气体传感器对200 ppm的CO非常敏感。 ...
2.1 半导体气体传感器 这种传感器主要使用半导体气敏材料。自从1962年半导体金属氧化物气体传感器问世以来,由于具有灵敏度高、响应快等优点,得到了广泛的应用,目前已成为世界上产量最大、使用最广的传感器之一。按照检测气敏特征量方式不同分为电阻式和非电阻式两种。 电阻式半导体气体传感器是通过检测气敏元件随气体含量的变化情况而工作的。主要使用金属氧化物陶瓷气敏材料。...
使用最多的金属氧化物半导体是二氧化锡,其次是二氧化钛、氧化锌等。为提高气敏传感器灵敏度和选择性,往往会向金属氧化物中加入催化剂,如铂、钯等贵金属或合适的金属氧化物。MEMS金属氧化物半导体气敏传感器采用微电子技术的成膜工艺在硅衬底上淀积金属氧化物敏感层,利用敏感层下的电阻做加热器,利用二极管做测温元件,必要的信号电路和读出电路也可以集成在同一硅芯片上。...
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