论文链接钽酸锂异质集成晶圆制备及高性能光子芯片示意图(a)硅基钽酸锂异质晶圆(b)薄膜钽酸锂光学波导制备工艺及波导的扫描透镜显微镜(a)钽酸锂弯曲波导、(b)铌酸锂弯曲波导的色散曲线设计(实线)与实际色散曲线(散点),可观察到铌酸锂波导色散曲线中明显的模式交叉效应(a)薄膜钽酸锂电光调制器;(b)首次实现X切型钽酸锂上的克尔孤子光频梳8英寸硅基薄膜钽酸锂晶圆制备...
钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片示意图。中国科学院上海微系统与信息技术研究所供图中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员欧欣团队联合瑞士洛桑联邦理工学院的托比亚斯·基彭贝格团队,在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性进展。相关成果5月8日发表于《自然》。...
欧欣团队与合作者通过研究发现,相比于铌酸锂,单晶钽酸锂薄膜具有类似的优异电光转换特性,且在双折射、透明窗口范围、抗光折变、频率梳产生等方面更具优势。此外,钽酸锂薄膜可实现低成本和规模化制造,具有极高的应用价值。欧欣团队采用基于“万能离子刀”的异质集成技术,通过氢离子注入结合晶圆键合的方法,制备了高质量硅基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆。...
中国科学院上海微系统所/供图论文共同通讯作者、中国科学院上海微系统所欧欣研究员表示,研究团队采用基于“万能离子刀”的异质集成技术,通过氢离子注入结合晶圆键合的方法,制备了高质量硅基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆,随后进一步联合开发出超低损耗钽酸锂光子器件微纳加工方法。...
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