JIS H 0615:1996
用光致发光光谱法测定硅晶体中杂质浓度的试验方法

Test method for determination of impurity concentrations in silicon crystal by photoluminescence spectroscopy

被代替

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标准号

JIS H 0615:1996

发布

1996年

发布单位

日本工业标准调查会

替代标准

JIS H 0615 ERRATUM 1:2006

当前最新

JIS H 0615:2021

 

 

适用范围

この規格は,フォトルミネッセンスによるシリコン単結品及び多結品シリコンの不純物濃度の定方法について規定する。測定可能な不純物元素は，ボロン(B)，アルミニウム(Al) ,りん(P)及びひ素(As)で測定濃度範囲は1×1011～5×015atoms/cm3 (0.002～100 ppba)である。

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