GB/T 16594-1996
微米级长度的扫描电镜测量方法

Micron grade lenght measurement by SEM

GBT16594-1996, GB16594-1996

2009-05

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GB/T 16594-1996

标准号
GB/T 16594-1996
别名
GBT16594-1996
GB16594-1996
发布
1996年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 16594-2008
当前最新
GB/T 16594-2008
 
 
本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法,适用于测量0.5~10μm的长度,也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。

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