GB/T 16596-1996
确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system
GBT16596-1996, GB16596-1996
2020-02
- 标准号
- GB/T 16596-1996
- 别名
- GBT16596-1996, GB16596-1996
- 发布
- 1996年
- 采用标准
- SEMI M20-1992 EQV
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 16596-2019
- 当前最新
- GB/T 16596-2019
- 适用范围
- 本标准规定了利用晶片中心作为极坐标（r-θ-z）或直角坐标（X-Y-Z）的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。 对于非构图晶片，可直接使用本晶片坐标系统或与矩形阵列或极坐标重叠阵列一起使用本晶片坐标系。 本晶片坐标系也可用于确定另一坐标系的原点或其他基准点的位置，而这另一坐标系则常表示或记录在构图或非构图晶片上的局部区域、芯片或图形阵列的位置特征。这样，该阵列体坛系可定位晶片的实际几何图形。