GB/T 16944-1997
电子工业用气体 氮
Gases for electronic industry--Nitrogen
GBT16944-1997, GB16944-1997
2010-05
- 标准号
- GB/T 16944-1997
- 别名
- GBT16944-1997, GB16944-1997
- 发布
- 1997年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 16944-2009
- 当前最新
- GB/T 16944-2009
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。 氮气化学性质不活泼，不可燃，是一种窒息性气体。 分子式：N2。 相对分子质量：28.0134（按1991年国际相对原子质量）。