GB/T 16942-1997
电子工业用气体 氢

Gases for electronic industry--Hydrogen

GBT16942-1997, GB16942-1997

被代替

标准号

GB/T 16942-1997

别名

GBT16942-1997, GB16942-1997

发布

1997年

发布单位

国家质检总局

替代标准

GB/T 16942-2009

当前最新

GB/T 16942-2009

 

 

适用范围

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 分子式：H₂ 相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量）

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