GB/T 16880-1997
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
Guidelines for photomask defect classification and size definition
GBT16880-1997, GB16880-1997
GB/T 16880-1997 发布历史
GB/T 16880-1997由国家质检总局 CN-GB 发布于 1997-06-20，并于 1998-03-01 实施。
GB/T 16880-1997 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31.020 电子元器件综合。
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 16880-1997 。
GB/T 16880-1997 采用标准及采用方式
- IDT SEMI P22-1993
GB/T 16880-1997的历代版本如下：
- 1997年 GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
- 标准号
- GB/T 16880-1997
- 别名
- GBT16880-1997
GB16880-1997 - 发布
- 1997年
- 采用标准
- SEMI P22-1993 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16880-1997
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