GB/T 16878-1997
用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
GBT16878-1997, GB16878-1997
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
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- 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
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- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
- 标准号
- GB/T 16878-1997
- 别名
- GBT16878-1997
GB16878-1997 - 发布
- 1997年
- 采用标准
- SEMI P19-1992 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16878-1997
- 本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。 本规范针对线宽计量、分辨率测试和邻近效应测试的需要，规定若干种基本测试图形单元的形状、一般尺寸、以及推荐的布局和设计规则。这些标准图形包括可供光学显微镜、电子显微镜和电子探针测量用的各种图形单元。 本规范不规定验证母版上测试图形关...