GB/T 16879-1997
掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

GB/T 16879-1997 发布历史

本准则规定了在表示掩模曝光设备的精密度和准确度时应遵循的一般要求。掩模曝光设备的图形曝光精密度和准确度是通过测量制成的掩模来评估的，掩模制造过程中的工艺条件对它有很大影响。所以，曝光条件应经厂家和用户双方同意。

GB/T 16879-1997由国家质检总局 CN-GB 发布于 1997-06-20，并于 1998-03-01 实施。

GB/T 16879-1997 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31.020 电子元器件综合。

GB/T 16879-1997的历代版本如下：

• 1997年06月20日 GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

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标准号

GB/T 16879-1997

发布日期

1997年06月20日

实施日期

1998年03月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.020

发布单位

CN-GB

适用范围

本准则规定了在表示掩模曝光设备的精密度和准确度时应遵循的一般要求。掩模曝光设备的图形曝光精密度和准确度是通过测量制成的掩模来评估的，掩模制造过程中的工艺条件对它有很大影响。所以，曝光条件应经厂家和用户双方同意。

GB/T 16879-1997系列标准