JIS R1636-1998
精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度

Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer

JIS R1636-1998 发布历史

この規格は,ファインセラミックス薄膜の膜厚を，触針式表面粗さ計によって試験する方法について規定する。適用できる陣厚の範囲は，10-10000nmとする。

JIS R1636-1998由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 1998-01-20。

JIS R1636-1998 在中国标准分类中归属于: Q32 特种陶瓷，在国际标准分类中归属于: 81.060.30 高级陶瓷。

JIS R1636-1998的历代版本如下：

• 1998年01月20日 JIS R1636-1998 精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度

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标准号

JIS R1636-1998

发布日期

1998年01月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

Q32

国际标准分类号

81.060.30

发布单位

JP-JISC

适用范围

この規格は,ファインセラミックス薄膜の膜厚を，触針式表面粗さ計によって試験する方法について規定する。適用できる陣厚の範囲は，10-10000nmとする。

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