JIS B 9924:1990
表面粒子计数器
Surface particle counters
JIS B 9924:1990 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- JIS B 9924:1990
- 发布
- 1990年
- 发布单位
- 日本工业标准调查会
- 当前最新
- JIS B 9924:1990
- この規格は，鏡面状平面基板（以下，ウエーハという。)上に付着した粒子状汚染物質（以下，粒子という。)の粒径及び個数を光学的に測定する表面付着粒子計数器(以下，計数器という。)について規定する。