GB/T 19921-2005由国家质检总局 CN-GB 发布于 2005-09-19,并于 2006-04-01 实施,于 2019-07-01 废止。
GB/T 19921-2005 在中国标准分类中归属于: H81 半金属,在国际标准分类中归属于: 77.040.01 金属材料试验综合。
GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法的最新版本是哪一版?
最新版本是 GB/T 19921-2018 。
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。 本标准适用于硅抛光片,也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。 本标准也可适用于观测硅抛光片表面的划痕、橘皮、凹坑、波纹等缺陷,但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能,并与检测时的初始设置有关。 注:本标准涉及的方法通常选用波长(48~6 33)nm的激光光源,最常用的是488nm的氩离子激光器;目前可测量的最小值颗粒直径为0.06μm或更小些。
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