QJ 3212-2005
氦质谱仪背压检漏方法

Test methods for leaks using the helium mass spectrometer leak detector in the inside-out testing mode

标准号

QJ 3212-2005

发布日期

2005年04月11日

实施日期

2005年07月01日

废止日期

无

中国标准分类号

V81

发布单位

CN-QJ

引用标准

GB 4844-1984 GB/T 12604.7-1995 GB/T 13979-1992 GJB 9712-2002 QJ 2040.1-1991

适用范围

本标准规定了氦质谱仪背压检漏的设备、环境、安全、人员、试验原理、试验程序的要求。 本标准适用于漏率在10^-6Pa•m³/s～10^-10Pa•m³/s的小型封闭产品的氦质谱仪背压泄漏的检测。

QJ 3212-2005 中可能用到的仪器设备