JIS H 0613:1978
切制硅片及磨光硅片的目视检查

Visual inspection for sliced and lapped silicon wafers


 

 

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标准号
JIS H 0613:1978
发布
1978年
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS H 0613:1978
 
 
适用范围
この規格は,シリコンのスライス又はラッしたウエーハ(以下,ウエーハという。)の外観検査について規定する。

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