GB/T 20176-2006
表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
Surface chemical analysis.Secondary-ion mass spectrometry.Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
GBT20176-2006, GB20176-2006
GB/T 20176-2006 发布历史
GB/T 20176-2006由国家质检总局 CN-GB 发布于 2006-03-27，并于 2006-11-01 实施。
GB/T 20176-2006 在中国标准分类中归属于: N33 电子光学与其他物理光学仪器，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
GB/T 20176-2006 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 20176-2006 。
GB/T 20176-2006 采用标准及采用方式
- IDT ISO 14237:2000表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 20176-2006 发布之时，引用了标准
- ISO 5725-2:1994 测试方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2部分:确定标准测试方法重复性和可再现性的基本方法
GB/T 20176-2006的历代版本如下：
- 2006年 GB/T 20176-2006 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×10atoms/cm～1×10atoms/cm。
- 标准号
- GB/T 20176-2006
- 别名
- GBT20176-2006
GB20176-2006 - 发布
- 2006年
- 采用标准
- ISO 14237:2000 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 20176-2006
- 引用标准
- ISO 5725-2:1994
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