DIN 50451-4:2007
半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.用电感耦合等离子体质谱测定法测定纯净水中34中微量元素
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)
- 标准号
- DIN 50451-4:2007
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50451-4:2007-02
- 当前最新
- DIN 50451-4:2024-01
- 引用标准
- DIN 32645 DIN 51401-1 DIN EN ISO 14644-1 DIN EN ISO 8655-2
- 被代替标准
- DIN 50451-4:2005
- 适用范围
- 本标准规定了电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定超纯水中34种元素的试验方法。该方法适用于质量分数为10 ng/kg至1000 ng/kg的元素。
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