几乎所有的扫描电子显微镜(REM)都配备有能谱仪,而我们不仅有能谱仪,还有波谱仪,因此有两种物理分析手段:能谱电子探针微分析(ED-ESMA)和波谱电子探针微分析(WD-ESMA)。通过X 射线光谱可以很精确地推算出材料中近表面的分析体积的元素主、副以及微量的成分。...
电子探针是通过加速和聚焦的极窄的电子束为探针,激发试样中的某一微小区域,使其发出特征X射线,由仪器配备的四道波谱仪、一道能谱仪、一个阴极发光成像系统接收并测定该X射线的波长和强度,即可对该微区的元素作定量或定性分析。将其与电镜功能相结合,能有效的把显微组织和元素成分联系起来,成为目前研究亚微观结构和成分的有力工具。...
电子探针基本上由电子光学系统,光学显微镜、X射线分光光谱仪和图像显示系统四部分组成,此外还配有真空系统、自动记录系统和输出系统及样品台等。目前新型探针都带有X射线波谱仪和X射线能谱仪两种测定样品成分的系统。前者分辨率高,精度高,但测定速度慢,后者可作多元素的快速定性和定量分析,但分析精度较前者差。...
其方法是,先利用能发出荧光的材料(如ZrO2)置于电子束轰击下,这是就能观察到电子束轰击点的位置,通过样品移动装置把它调到光学显微镜目镜十字线交叉点上,这样就能保证电子束正好轰击在分析点上,同时也保证了分析点处于X射线分光谱仪的正确位置上。在电子探针上大多使用的光学显微镜是同轴反射式物镜,其优点是光学观察和X射线分析可同时进行。放大倍数为100-500倍。...
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