IPC MI-660 5.3-1984
干电影光刻胶

Dry-Film Photoresist


IPC MI-660 5.3-1984 中，可能用到以下仪器

 

国产全自动光刻机4-12寸可选

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上海螣芯电子科技有限公司

 

接触式双面光刻机 EVG®610

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上海螣芯电子科技有限公司

 

骏楠光子DaLI系列无掩膜纳米光刻机

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广东骏楠光子科技有限公司

 

全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选

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上海螣芯电子科技有限公司

 

日本电子JBX-3050MV 电子束光刻系统 步进重复式的光刻系统

日本电子JBX-3050MV 电子束光刻系统 步进重复式的光刻系统

日本电子株式会社(JEOL)

 

标准号
IPC MI-660 5.3-1984
发布
1984年
发布单位
美国电子电路和电子互连行业协会
 
 
IPC 标准和出版物旨在通过以下方式服务于公众利益：

IPC MI-660 5.3-1984相似标准

T/ICMTIA 5.1-2020 集成电路用 ArF 干式光刻胶 STAS 6068-1985 电影摄影术．光蚀刻法放大和缩小电影胶片影象 CY/T 85-2012 光盘复制术语 T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

IPC MI-660 5.3-1984 中可能用到的仪器设备

电子束刻蚀


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