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晶圆制造设备——薄膜生长设备采用物理或化学方法是物质(原材料)附着于衬底材料表面的过程即为薄膜生长。薄膜生长广泛用于集成电路、先进封装、发光二极管、MEMS、功率器件、平板显示等领域。薄膜生长工艺类型资料来源:北方华创《集成电路专用设备-薄膜设备》根据工作原理的不同,集成电路薄膜沉积可分为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和外延三大类。...
基于衬底曲率的三层石墨烯堆叠选择(CBSS)机制基于这些观察结果,研究人员建立了一个模型,用于描述衬底形貌,尤其是表面波纹的曲率在ABC-TLG生长过程中所起的作用(图1)。这种基于曲率的堆叠选择(CBSS)生长机制通过三层石墨烯与原始衬底的关联实验得以证实。...
这种技术不仅节约了能源,而且低温环境使得a_Si:H基薄膜掺杂、禁带宽度和厚度等可以较精确控制,工艺上也易于优化器件特性;低温沉积过程中,单品硅片弯曲变形小,因而其厚度可采用本底光吸收材料所要求的最低值(约80μm);同时低温过程消除了硅衬底在高温处理中的性能退化,从而允许采用“低品质”的晶体硅甚至多晶硅来作衬底。...
作为高能脉冲功率技术设备中最关键的元件之一,高储能密度和高效率的电介质储能材料与器件已成为当前功能材料领域的研究热点。为了满足相关器件集成化、小型化、轻量化和柔性化的需求,高储能、低成本、高可靠性、易集成等优点的薄膜电容器备受青睐。现有的有机聚合物基电容器虽然具有一定的伸展性和弯曲性,但其本征介电常数较小,且不耐高温,限制了其在极端环境条件下的应用。...
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