ISO 3530:1979
真空技术 质谱仪型检漏仪校准

Vacuum technology; Mass-spectrometer-type leak-detector calibration


ISO 3530:1979 中,可能用到以下仪器

 

赛默飞ARGUS VI静态真空质谱仪

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ISO 3530:1979

标准号
ISO 3530:1979
发布
1979年
中文版
GB/T 18193-2000 (等同采用的中文版本)
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 3530:1979
 
 
仅描述了具有集成高真空系统以将质谱仪的传感元件保持在低压的检漏仪。 概述了两个程序,一个用于确定最小可检测泄漏率,另一个用于确定最小可检测浓度比。

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ISO 3530:1979 中可能用到的仪器设备


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