GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫发布历史

本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。

GB/T 18867-2002由国家质检总局 CN-GB 发布于 2002-10-15，并于 2003-04-01 实施，于 2015-07-01 废止。

GB/T 18867-2002 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体，在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。

GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫于 2014-12-22 变更为 GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫。

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适用范围: 本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。

GB/T 18867-2002
电子工业用气体六氟化硫已作废