JIS Z 8752:1989
用热阴极和冷阴极电离真空规测量低压的方法

Measuring methods of low pressures by hot cathode and cold cathode ionization gauges


 

 

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标准号
JIS Z 8752:1989
发布
1989年
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS Z 8752:1989
 
 
适用范围
この規格は,熱険極及び冷陰極電離真空計(以下,真空計という。)を用いて圧力を測定すろ場合の一般的方法について規定する。

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