GB/T 18994-2003
电子工业用气体 高纯氯已作废

Gases for electronic industry--High purity chlorine

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标准号

GB/T 18994-2003

发布日期

2003年03月05日

实施日期

2003年08月01日

废止日期

2015-07-01

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 18994-2014

适用范围

本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。

GB/T 18994-2003系列标准