ASTM F1529-02
用直列式四点探测器和双配置程序评定薄膜电阻均匀性的标准试验方法
Standard Test Method for Sheet Resistance Uniformity Evaluation by In-Line Four-Point Probe with the Dual-Configuration Procedure
- 标准号
- ASTM F1529-02
- 发布
- 2002年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1529-02
- 引用标准
- ASTM D5127 ASTM F1241 ASTM F374 ASTM F42 ASTM F81 ASTM F84
- 1.1 该测试方法涵盖了与硅半导体技术相关的圆形导电层的薄层电阻及其变化的直接测量，但外围（相当于三个探针间隔）除外。这些层可以在能够牢固地安装在探针台上的任何直径的基板上制造。注释18212；用于根据测量计算薄层电阻数据的方程对于探针定向的晶圆边缘并不完全准确相对于晶片半径成任意角度。此外，执行该测试方法的自动仪器可能无法使晶片在测量台上完美居中。这些因素...