ASTM F1809-97
造成硅的结构性缺陷的浸蚀溶液的选择与使用标准导则

Standard Guide for Selection and Use of Etching Solutions to Delineate Structural Defects in Silicon

被代替

标准号

ASTM F1809-97

发布

1997年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1809-02

当前最新

ASTM F1809-02

 

 

引用标准

ASTM D5127 ASTM F1725 ASTM F1726 ASTM F1727 ASTM F1810

适用范围

1.1 本指南涵盖了为揭示硅片结构缺陷而开发的化学溶液的配制、选择和使用。蚀刻解决方案可识别对电路性能和硅器件产量产生不利影响的晶体缺陷。样品制备、温度控制、蚀刻技术和蚀刻剂的选择都是蚀刻方法成功使用的关键因素。本指南提供了几种蚀刻解决方案的信息，并允许用户根据需要进行选择。欲了解更多信息，请参阅附录 X1 和图 12。 1-32。对于优先计算硅晶片中蚀刻或装饰表面缺陷的测试方法，请参阅测试方法 F 1810。
1.2 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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