ASTM E1162-06
报告次级离子质谱法(SIMS)中溅射深度截面数据的标准实施规程

Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)


 

 

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标准号
ASTM E1162-06
发布
2006年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM E1162-11
当前最新
ASTM E1162-11(2019)
 
 
这种做法用于报告“方法”第 6 节中指定的实验条件。或“实验性”其他出版物的部分(受编辑限制)。该报告将包括每个数据集的具体条件,特别是出版物中不同溅射深度剖面数据集的任何参数是否发生变化。例如,表格的脚注或图形标题将用于指定不同的条件。1.1 这种做法涵盖了描述和报告仪器、样本参数、实验条件和数据简化程序所需的信息。 SIMS 溅射深度剖面可以使用各种主束...

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